ULVAC愛發科YM-RL系列羅茨泵機組YM-RL-301A

更新時間：2025-03-31

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ULVAC愛發科YM-RL系列羅茨泵機組YM-RL-301A

YM-RL系列羅茨泵機組

組成

YM-RL系列羅茨泵機組是多級羅茨式干泵、羅茨泵、安裝支架、接管、控制箱、消音器等組合而成，用于生產、研究設備的真空排氣機組。

用途

冷凍干燥、鍍膜、真空釬焊爐、真空燒結爐、單晶爐、多晶爐、等離子刻蝕、氣體回收系統等。

優點

• 無油、干燥、清潔。

• 在低溫領域的均熱化。

• 大抽速，可以縮短排氣時間。

• 優良的耐腐蝕性。

• 低噪音、低震動。

技術參數
抽氣速率曲線

* 1 用皮拉尼真空計測定的值。

* 2 不作為推薦系列。

* 3 冷卻水不得有結露。

* 4 用調節閥所調整的壓力表的值。

* 5 氮氣（密封氣體）流量5L/min是固定值。

YM-VD / VS系列羅茨泵機組

組成

YM-VD / VS系列羅茨泵機組是由油旋片真空泵、羅茨泵、安裝支架、接管、控制箱、油霧過濾器等組合而成，用于生產、研究設備的真空排氣。

用途

• 蒸發鍍膜、濺射鍍膜、離子鍍、光學鍍膜等。

• 單晶爐、多晶爐、真空熱處理爐、燒結爐、退火爐、淬火爐等。

• 真空干燥、冷凍干燥、檢漏設備及系統、氣體回收系統、液晶注入等。

• 冰箱、家用空調、中央空調、節能燈、背光源、自動抽空線、排氣設備等。

技術參數
抽氣速率曲線

* 1 用皮拉尼真空計測定值。
* 2 標準電機為50Hz-380V/400V/415V、60Hz-380V/400V/440V或50Hz-200V、60Hz-200V/220V。
* 3 VDN301泵在50Hz使用時的電機為1.1kW;而60Hz使用場合，電機應配1.5kW。
* 4 各種泵油的性能是不同的，因此，為避免影響泵的性能，請使用本公司的真空泵油。
* 5 NB300B的吸入口在530Pa以上進行連續運行時，必須用水冷卻（2L/min)。

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